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美国Dynavac公司位于美国麻州,成立于1982年。Dynavac公司为薄膜沉积提供高真空系统,为空间模拟提供热真空系统,和各种定制系统。作为一家以技术为基础的制造业公司,我们以我们创新的设计,高品质的生产,客户满意度感到自豪。我们努力工作,以赢得我们的领导地位,并致力于我们的产品和组织的持续改进。 1.天文学方面 James Webb Space Telescope 从2006年开始, Dynavac参与了 NASA的 James Webb Space Telescope (JWST) 项目。JWST是一个大型红外望远镜,有6.5米主镜。它将被用来寻找形成于早期宇宙的第一个星系,连接宇宙大爆炸到我们自己的银河系。发射计划于2014年。有关更多信息,请访问www.jwst.nasa.gov Dynavac已经升级了几个主要的腔室,以适应外太空的极端环境条件。整流罩已为氦( 20K )和液氮操作( -190 ° C)和已经安装在室范围从4大小"直径可达65'直径120英尺高。 2. 精密光学 镜片沉积系统 2009年6月Dynavac完成安装Happy Jack, 在亚利桑那州 Lowell Observatory's new Discovery Channel Telescope (DCT)的光学镀膜系统。 Dynavac的系统将铝沉积到望远镜的4.2米主镜和1.4米次镜。在真空室15"的直径,并具有25"的总高度" 。能实现优于+ /-5%涂层厚度均匀性。该项目将用于各种有关我们太阳系,行星系统,以及其他一些令人兴奋的项目研究项目。请参阅http://www.lowell.edu/dct/进一步的细节。 3. 太阳能方面 直列式溅镀系统--Inline Sputtering Systems Dynavac取得了相当大的投资来发展直列溅射系统,用于生产太阳能电池和反射聚光片的生产。系统可用于大型玻璃涂层沉积。玻璃加热至300-600 ℃,加上连续或间歇运动,用于获得所需的膜性能。产率高达1片/分钟,同时被通过溅射或蒸发淀积三层或更多层来实现。离子源可掺入清洗或沉积过程的增强。 系统的范围从3英尺至8英尺宽(或更大) ,并且可以容纳平板玻璃或带有显著深度的构成零件。负载锁用于与自动化输送到连续腔体的初始抽气。用于装载和卸载基底的机器人装卸也可包括在内。如同所有的Dynavac系统,综合控制系统用于输送,加热,真空管理,沉积过程,并与工厂信息网络的通信。 沉积的薄膜包括:
Dynavac的薄膜沉积系统,为客户提供全方位的生产其产品过程的选项。技术包括蒸发,溅射和化学气相/等离子沉积。我们的设备在提供不屈的可靠性和精确的过程控制的享有盛誉,这种特性已经在各种生产环境中得到证明。 Dynavac蒸发系统支持薄膜生产,使用行业标准技术。包括:
•电子束蒸发
•热电阻蒸发 •离子辅助沉积 系统设计用于各种生产环境,并且可以提供各种尺寸的阀室,泵送系统,基板加工,以及厚度控制等选项。 Dynavac的标准控制系统体系结构支持完全自动化的过程控制,通过一个简单的,易于使用的界面。对于独特的,或者复杂的客户要求提供各种定制。 •精密的光学镀膜系统 Dynavac为商业上生产薄膜制造精密的光学镀膜系统。我们的系统被用于各种工业应用中,从紫外线和可见光的涂层,用离子辅助蒸镀复杂的红外镀膜。 我们的阀室是在一个紧凑的,分钟罩配置或传统的"箱式"阀室。标准尺寸,从32英寸到96英寸的大型光学沉积。 Dynavac的标准设计架构灵活性,以支持广泛的抽,过程,和基板夹具选项。我们的标准石英晶体监控或光学监控,确保精确和均匀的沉积。 Dynavac的控制系统结构允许"一键式"操作,从阀室抽空到透过薄膜沉积。触摸屏或键盘接口允许用户选择功能和存储的设计选项。从标准的薄膜设计软件包,如Film*start , TFCalc ®和 Essential Macleod®,我们的系统的下载功能使复杂的设计快速,准确输入。 我们有一个响应的客户支持团队,提供完整的安装,调试和培训服务。 系统参数下载:
Dynavac Optical Coating Systems下载
Dynavac Odyssey 450 Deposition System下载 Dynavac Spectrum-Pro Optical Monitoring System 下载 Dynavac Ion Source下载 •大批量生产 我们能够做到零件快速生产,用大批量型系统或使用内嵌系统负载锁和自动的零件处理。 Dynavac无论是采用蒸发或溅射工艺都能做到这些系统。 Dynavac配置了大型双门,采用电子束蒸发源与离子辅助沉积(IAD)大批量生产精密光学元件。在处理一个批次的时候,另一批可以加载在第二阀室的门。每个门可容纳在基板轮换制度。 使用滚筒式旋转箱中,我们可以加载许多部分到一个等待的箱体,当在一个阀室的箱体中沉积的时候。车是用来启用箱的快速装卸。我们还可以容纳翻转模具镀膜的部件的两面。 •天文镜沉积系统 Dynavac有一个标准的系统,专门为天文镜的高反射铝膜沉积而设计。使用经过验证的阀室设计和沉积方法, Dynavac望远镜反射镜系统提供了一个自动化的,高度可靠的工艺方法。 Dynavac有内部能力建设腔直径可达4.9米的阀室。也有能力建设更大的系统。对于中和沉积后特别考虑到处理高价值的镜子。 真空室被配置为一个垂直钟罩,下半部作为反射镜支承结构。一种多级泵系统实现了在腔室中所需的压力来沉积高反射率的涂层。铝的沉积,是用多丝阵列和辉光放电系统。这种技术允许镜子的均匀的涂层,而不镜毛坯的旋转,大大降低了系统的成本和镀膜的风险。 Dynavac有在全球范围内,出货和安装系统的能力。 Dynavac为各种各样的应用构建溅射沉积系统。我们能够沉积金属膜,例如铝,银,钼和铬在玻璃,金属,塑料或金属箔。此外,我们能溅射范围广泛的半导体材料和电介质,包括透明导电氧化物。 Dynavac优化溅射源和工艺要求电源的类型,以确保溅射膜是光滑,致密的,并粘附。我们还设计系统,溅射向上,向下或横盘为了简化部件被镀膜部分的处理。 系统可容纳小件和小批量应用,使用批处理系统。 Dynavac使用内嵌系统沉积在大块的玻璃上,生产太阳能电池,显示面板,和其他应用。我们使用玻璃加热至300-500 ℃,加上连续或间歇运动,以获得所需的膜性能。我们的方法可以实现生产速率为每分钟1片而沉积三层或更多层。 我们也可提供网上镀膜系统溅射在塑料薄膜上,并大批量的生产大,批量式的塑料薄膜。 Dynavac构建用于化学气相沉积(CVD)系统,利用热活化或等离子体驱动进程统。等离子体处理可以由直流,高频或中频交流电源激发。这些系统允许我们生产及其坚硬,光滑的类金刚石碳(DLC)或碳化物膜层,在光学窗口,电线和纤维,金属零件,以及各种各样的其他物品。 我们还可以使用等离子体处理对电子元件的腐蚀和碾磨,并用于塑料,以提高键合的表面处理。 |