GammaVacuum公司
Gamma Vacuum是致力于离子泵、钛升华泵和离子泵控制器的设计、制造和服务的专业离子泵制造公司。由于其离子泵产品优秀的质量、严格的交付和后期服务,Gamma Vacuum已经成长成为业界领先的离子泵产品和系统供应商。Gamma Vacuum拥有大量具有真空环境工作经验的员工,其从业和应用经验遍布系统制造、科学研究、大型工业真空应用等领域,能够为各行业的客户提供符合要求的真空产品和服务。
离子泵应用
Gamma离子泵产品广泛应用于众多的高真空和超高真空(UHV)环境,用于实现最低的经济低气压力环境。与其他的技术相比,离子泵具有以下的优势:
- 免震动应用
- 低维护
- 持续的气体捕捉
- 低运行成本
- 压力指示
- 辐射耐受
- 可烘烤的
- 免污染技术
- 长效无故障周期
Gamma离子泵定制服务
Gamma Vacuum拥有一系列的标准型离子泵产品,同时可以按照用户的需求进行产品定制。我们拥有专业的研究和工程技术人员能够为用户的应用需求提供离子泵产品的定制服务。
- SEM离子泵
- 专用连接口配置
- 定制尺寸
- 高压应用定制
- 极端真空(XHV)应用
TiTan™ 系列泵产品
Gamma Vacuum TiTanTM系列离子泵产品为严格的真空抽吸应用设计。泵体表明采用化学处理以消除潜在的表面污染,并在使用过程中提供最大限度保证产品的牢固,内部的陶瓷体设计能够隔离溅射材料的辐射。
- TiTan™ CV(Conventional)系列——双钛阴极离子泵适用于快速的活性气体抽吸应用
- TiTan™ DI (Differential)系列——钛、钽双阴极离子泵适用于快速活性气体抽吸和长时间稳定的惰性气体抽吸应用
- TiTan™ 30——钽嵌入式溅射区域设计适用于稳定性要求较高的防气体泄漏的应用
- TiTan™ TR——优秀的三阴极离子泵适用于更高压力环境的应用
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1. TiTan™离子泵
小型离子泵有众多的尺寸和不同的配置,Gamma Vacuum产品拥有众多的小型离子泵的选择。这些小型离子泵提供多中不同的接口类型,可以任意的方向安装到用户的系统中。 |
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低侧剖面离子泵是高度低于12英寸(300mm)的标准配置的离子泵产品。这类泵可以针对每个订单定制,这类泵封闭磁环能有效减少泵运行时产生的杂散磁场,是带电粒子应用的理想离子泵。 |
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高侧剖面离子泵设计用于安装在狭窄的应用环境。这类泵同样可以按照订单需求制造,同时设计适用于不能使用低侧剖面离子泵的应用环境,具有较小的外形尺寸。 |
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2. Digitel™ 离子泵控制器
Digitel™ SPC是小型离子泵(0.2 – 75 l/s)的通用控制器。SPC控制器提供压力/电流/电压的显示,兼容标准串行通讯接口,控制器可适用于各类基本或高级需求的用户。纳米级的电流分辨率为使用离子泵提供了合适的计量能力。 |
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100 l/s以上的离子泵需要更高的启动电流和更高的运行压力。LPCe控制器可以为单独的(或者最多四个并联)离子泵提供更高的电流,产品拥有大屏幕的可触摸式LCD显示屏,能够同时显示压力、电流和电压信息。提供标准的串行通信接口和8组设定值允许自行进行系统集成。 |
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MPCe兼容LPC的相同特色,能够提供更高的电流控制两个独立的离子泵或最多四个并联的泵。MPCe高3U,宽一个机架。MPCe是针对任何离子泵配置的理想功能的控制器,拥有远程的TSP控制功能,一个控制器就能够控制一个独立系统的所有离子泵设备。 |
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远程TSP(钛升华泵)控制器可以从MPCe的可触摸式LCD上完全实现操作。TSP的灯丝可以手动的或者基于MPCe监控的任何一个离子泵的压力点燃。时控模式允许用户可以完全控制灯丝点燃时的精确参数,单独的远程TSP控制器能够控制多达8个灯丝。 |
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The DIGITEL™系列产品能够灵活的控制众多的离子泵和钛升华泵。LPCe和MPCe能够同时支持多达四个并联离子泵或单独运用的一个或两个离子泵。MPCe能够单独控制一或者二个TSP控制器。 |
3. TiTan™ 升华泵
钛升华泵(TSPs)通常被用于与离子泵联合使用或单独使用于消除真空环境中的活性气体。与离子泵联合使用时,升华泵能够在短时间内达到更低的最终压力。升华泵的组件可烘烤至400˚C。
TSP灯丝芯安装在2 3/4英寸CFF(NW35)。引线支持三个钛-钼灯丝和一个地绝缘的回路。每个灯丝含1.5克可用钛,平均20小时的运作时间。 |
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液体cryoshroud由双重壁,304L容积不锈钢圆柱体构成,具有两个液氮导孔(直径.375英寸)。能够提供1578 cm2(245 in2)的液氮冷却面积,能够提供高达12,000 L/s的氢抽速。Cryoshroud的安装接口为8英寸CFF(NW150)。 |
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环形溅射防护罩能够经济的最大化冷却的实际表面积,可提供827cm2(128 in2)的环境温度表面面积,能够提供高达2200 L/s的氢抽速。防护罩的安装接口为8英寸CFF(NW150)。 |
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4. SAFECONNTM 高压连锁系统
Gamma Vacuum公司提供的离子泵连接系统,即SAFECONNTM高压互锁系统,能够为在高压下运行的离子泵系统提供安全的运行环境。系统所采用的UL材料能够承受10kV的直流高压电流,温度可高达250 ˚C。系统的辐射耐受性使得该连接线具有最大的灵活性,在辐射达到2×105 Grey时,也能够提供90°的弯曲半径。 |
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SAFECONNTM高压互锁系统能够与控制器联动,当连接线从泵脱落时,控制器能够及时的自动切断高压避免事故。系统采用电隔离设计,能够隔绝其他泵或电设备产生的电子噪声。SAFECONN安全接地、高压和安全互锁连接能有效防止意外的高压电弧,SAFECONN系统能够保障了操作者和设备远离工作环境的高压危害。 |
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产品购买或定制
更详细的信息,或者产品定制和沟通,请登录Gamma Vacuum公司网站(www.gammavacuum.com)查询,或者请联系我们:
Jeff Li (李军锋)
Gamma Vacuum 产品销售经理
电话:010-51456920
手机:13910621555
邮件:Jeff.li@insight-scientific.com