2.远紫外和软X射线Extreme Ultraviolet / Soft X-Ray

1）. EQ-10

EQ-10

Electrodeless Z-Pinch™
10 Watt EUV Source

科研人员在EUV光刻方面的的应用研究需要EUV光源。现有的光源通常功率过低，操作不可靠，体积大、价格昂贵并且使用复杂。

EQ-10是一个结构紧凑，可靠，易于使用，具有成本低的EUV光源。它基于Energetiq的无电极氙气体Z-pinch™专利技术。EQ-10是目前唯一适合计量和研究应用的光源。通过它的可靠性、易操作和低使用成本等优势，EQ-10已经成为EUV使用群体的主要EUV光源。

通过它的可靠性、易操作和低使用成本等优势，EQ-10已经成为EUV使用群体的主要EUV光源。这个系统由无电极Z-pinch光源，真空和气体子系统，功率输出子系统和电子控制系统构成。EQ-10可以在EUV范围内2π球面度提供高达10W的输出功率，并且持续运行的重复频率可以达到2KHz。

特性与优势：

• 独特的无电极Z-Pinch专利技术——低消耗成本
• 10W into 2pi（氙）
• 高达2KHz重频——持续模式24/7
• 小等离子体——低于1mm直径
• 结构紧凑，成本低——占用空间小，每瓦低成本
• CE-Mark，兼容 S2-0703 

工业应用：

• EUV计量
• EUV抗蚀剂开发
• 缺陷检测
• EUV显微镜

 产品参数：

• EUV输出功率：10 Watts into 2π steradians (13.5 nm, ±1% bandwidth)
• 脉冲重频：1200 to 2000 Hz
• 光源操作压强：70 to 100 mTorr typical
• 氙流量：5 to 15 sccm typical
• 支架：1356 x 611 x 915 mm (53.4 x 24.1 x 36.0 in)  215.5 kg (475 lbs)
• 调制器：498 x 356 x 701 mm (19.6 x 14.0 x 27.6 in)   54.4 kg (120 lbs)
• 光源：764 x 556 x 533 mm (30.1 x 21.9 x 21.0 in)   95.3 kg (210 lbs)
• 前泵机组：643 x 259 x 460 mm (30.1 x 21.9 x 21.0 in)   27.7 kg (61 lbs)
• 供电：200–230V, 3Ø, 50/60 Hz, 30A
• 冷却水：40-60 PSID (0.28–0.41 MPa), 1.5 GPM (5.7 lpm) min., 30°C max. inlet
• 清洁干燥空气：75–90 PSIG (0.52–0.62 MPa
• 氙：15–40 PSIG (0.10–0.28 MPa), 20 sccm max. (10 sccm typ.)

• 合规：EQ-10 Series     CE Mark, SEMI S2-0703

详细参数，请点击查看：EQ10_series_DataSheet.pdf

2）EQ-10HR

EQ-10HR

Electrodeless Z-Pinch™
High Repetition Rate 10 kHz EUV Source

在HVM中用到的EVU光源需要10KHz或者更高的重复频率。为了模拟这样的脉冲频率下对光学元件寿命的影响，则需要高重频计量光源。

Energetiq的 EQ-10HR是一个结构紧凑，可靠，易于使用，具有成本低的EUV光源。它基于Energetiq的无电极氙气体Z-pinch™专利技术。EQ-10HR高重频光源是目前唯一适合HVM中计量和研究应用的光源。

特性与优势：

• 独特的无电极Z-Pinch专利技术——低消耗成本
• 10KHz重复频率——HVM模拟，持续模式24/7
• 小等离子体——低于1mm直径
• 结构紧凑，成本低——占用空间小，每瓦低成本
• CE-Mark，兼容 S2-0703 

工业应用：

• EUV加速光学测试
• EUV计量
• EUV抗蚀剂开发
• 缺陷检测
• EUV显微镜

在EQ-10HR是一个独立的系统，适合被整合到处理工具中。该系统包括：无电极Z-pinch 源装置，磁浮真空泵子系统，气体输送子系统，功率输送子系统，和控制电子设备。在EQ-10HR能够提供高达0.5兆焦耳/脉冲宽带EUV成为 2pi steradians，及将在高达10 kHz脉冲重复频率连续运行。
EQ-10HR易于安装，只需接通电源，冷却水供水，清洁干燥的压缩空气和氙气供给。

产品参数：

• 脉冲重频：10 kHz
• 光源操作压强：150 mTorr typical
• 氙流量：100 sccm typical

• 光源支架：2002 x 611 x 915 mm (78.8 x 24.1 x 36.0 in)   440 kg (968 lbs)
• 工具支架：1356 x 611 x 915 mm (53.4 x 24.1 x 36.0 in)   215.5 kg (475 lbs)
• 调制器：498 x 356 x 701 mm (19.6 x 14.0 x 27.6 in)   54.4 kg (120 lbs)
• 光源：810 x 697 x 769 mm (31.9 x 27.5 x 30.3 in)   98.4 kg (217 lbs)
• 前泵机组：643 x 259 x 460 mm (30.1 x 21.9 x 21.0 in)   27.7 kg (61 lbs)
• 供电：208V, 3Ø, 50/60 Hz, 30A
• 冷却水：40-60 PSID (0.28–0.41 MPa), 1.5 GPM (5.7 lpm) min., 30°C max. inlet
• 清洁干燥空气：80–100 PSIG (0.55–0.69 MPa)
• 氙：15–40 PSIG (0.10–0.28 MPa), 100 sccm max. (40 sccm typ.)

• 合规：EQ-10 Series     CE Mark, SEMI S2-0703

详细参数，请点击查看：EQ10HR_DataSheet.pdf

3）. EQ-10HP

EQ-10HP

Electrodeless Z-Pinch™
20 watt EUV Source

科研人员在EUV光刻方面的的应用研究需要EUV光源。现有的光源通常功率过低，操作不可靠，体积大、价格昂贵并且使用复杂。

EQ-10是一个结构紧凑，可靠，易于使用，具有成本低的EUV光源。它基于Energetiq的无电极氙气体Z-pinch™专利技术。EQ-10是目前唯一适合计量和研究应用的光源。通过它的可靠性、易操作和低使用成本等优势，EQ-10已经成为EUV使用群体的主要EUV光源。

通过它的可靠性、易操作和低使用成本等优势，EQ-10已经成为EUV使用群体的主要EUV光源。这个系统由无电极Z-pinch光源，真空和气体子系统，功率输出子系统和电子控制系统构成。EQ-10HP可以在EUV范围内2π球面度提供高达20W的输出功率，并且持续运行的重复频率可以达到2.5KHz。

特性与优势：

• 独特的无电极Z-Pinch专利技术——低消耗成本
• 20W into 2pi——为更多的应用提供亮度更高，功率更大的光源
• 小等离子体——低于1mm直径
• 结构紧凑，成本低——占用空间小，每瓦低成本
• CE-Mark，兼容 S2-0703 

工业应用：

• EUV掩模检查
• EUV计量
• EUV抗蚀剂开发
• EUV显微镜

产品参数：

• EUV输出功率：20 Watts into 2π steradians (13.5 nm, ±1% bandwidth)
• 脉冲重频：1200 to 2500 Hz
• 光源操作压强：70 to 150 mTorr typical
• 氙流量：5 to 15 sccm typical

• 支架：1356 x 611 x 915 mm (53.4 x 24.1 x 36.0 in)  215.5 kg (475 lbs)
• 调制器：498 x 356 x 701 mm (19.6 x 14.0 x 27.6 in)   54.4 kg (120 lbs)
• 光源：764 x 556 x 533 mm (30.1 x 21.9 x 21.0 in)   95.3 kg (210 lbs)
• 前泵机组：643 x 259 x 460 mm (30.1 x 21.9 x 21.0 in)   27.7 kg (61 lbs)
• 供电：200–230V, 3Ø, 50/60 Hz, 30A
• 冷却水：40-60 PSID (0.28–0.41 MPa), 1.5 GPM (5.7 lpm) min., 30°C max. inlet
• 清洁干燥空气：75–90 PSIG (0.52–0.62 MPa
• 氙：15–40 PSIG (0.10–0.28 MPa), 20 sccm max. (10 sccm typ.)

• 合规：EQ-10 Series     CE Mark, SEMI S2-0703

详细参数，请点击查看：EQ10HP_series_DataSheet.pdf

4). EQ-10SXR

EQ-10SXR

Electrodeless Z-Pinch™
Soft X-Ray (SXR) Source

Water-window显微镜或其它应用中的软X射线与外部加速器设备同步并不容易。现在，多亏了 Energetiq的一个新光源，在任何研究实验室都可以在通量水平产生软X射线用于成像探针。

Energetiq 的EQ-10SXR 是一个结构紧凑，可靠，易于使用，具有成本低的EUV光源。它基于Energetiq的无电极氮气体Z-pinch™专利技术。

特性与优势：

• 独特的无电极Z-Pinch专利技术——低消耗成本
• 使用氮产生2-4nm软x射线——适用于SXR显微镜应用
• 小等离子体——高亮度，<1mm直径
• 结构紧凑，成本低——占用空间小，每瓦低成本

工业应用：

• Water-Window显微镜
• 微光束探测细胞

该Energetiq EQ-10SXR源包括19“机架，含气子系统，电源供给子系统和控制电子设备；其无极Z-pinch 源组件集成真空系统;以及高效率的脉冲调制器。这种模块化的设计便于集成显微镜或其它应用设备。
EQ-10SXR能够提供高达400毫瓦2.8nm功率成2pi steradians，并会在高达2kHz的脉冲重复频率连续运行。
EQ-10SXR易于安装，只需接通电源，冷却水供水，清洁干燥的压缩空气和高纯度的氮气供应。

产品参数：

• 支架：1356 x 611 x 915 mm (53.4 x 24.1 x 36.0 in)   215.5 kg (475 lbs)
• 调制器：498 x 356 x 701 mm (19.6 x 14.0 x 27.6 in)   54.4 kg (120 lbs)
• 光源：764 x 556 x 533 mm (31.9 x 27.5 x 30.3 in)   95.3 kg (210 lbs)
• 前泵机组：643 x 259 x 460 mm (30.1 x 21.9 x 21.0 in)   27.7 kg (61 lbs)
• 供电：200–230V, 3Ø, 50/60 Hz, 30A
• 冷却水：40-60 PSID (0.28–0.41 MPa), 1.5 GPM (5.7 lpm) min., 30°C max. inlet
• 清洁干燥空气：75–90 PSIG (0.52–0.62 MPa
• 氙：15–40 PSIG (0.10–0.28 MPa), 20 sccm max. (10 sccm typ.)

• 合规：EQ-10 Series     CE Mark, SEMI S2-0703

详细参数,请点击查看：EQ10SXR_DataSheet.pdf

 EQ-10，EQ-10 HR，EQ-10 HP， 和EQ-10 SXR以适应各种应用的不同要求，源操作条件是用户可调的。EUV光的输出可以为峰值功率或根据需要由用户的峰值亮度进行优化。等离子体尺寸通常低于1mm的直径，在典型的操作条件。给用户提供一种简单而灵活的光接口，提供给系统外的用户，连接到该应用设备。自定义接口，可满足客户的特定需求。用户操作界面是一个彩色触摸屏显示器，并采用菜单允许手动和自动操作。