5.专业工具
1)．Super Fine Pitch Rotator (HPR-1)
通过一个平滑的工具旋转来实现高精细度的姿势控制。
它是一个非常方便的轮换工具用于提升离子束聚焦加工薄片。因为旋转控制的加入，在做精密的位置控制时，没有网格标尺的情况下，机械手臂操作更加容易。Axis Pro、Quick Pro都可以非常容易的安装这个工具。此外，除了玻璃探针，如果用钨探针或硬质金属探针，可以更好的进行异物取样。
主要应用：
- 聚焦离子束加工薄片
- 聚集颗粒的姿态控制
- 当异物接收分析盘并通过它时方向的调整
- 切割工具使用时候的角度微调
- 确认少量附着在工具后面的对象
工具安装：
用途 |
微型工具 |
型号 |
聚焦离子束 |
采样探头 |
MST-002 |
异物采样 |
钨探针 |
TP-0005,001,005,010,030 |
研磨或切割 |
硬金属工具 |
MPE-1,2,4 / CP-005 / KE-1,2 |
产品：
超精细间距的转子 |
HPR-1R |
"Axis Pro" 和"Quick Pro"的右臂产品 |
HPR-1L |
"Axis Pro" 和"Quick Pro"的左臂产品 |
2）. Milling Pro （MIL-1/3）
操作环境下的微型铣。
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它是一个可以切割埋在树脂等物质中的异物的切割附件。这是一个至今都非常困难的操作，在一段时间人们都放弃了这样的操作。根据应用，我们公司的显微操作器可以用于2um-300um的工作。它也可以切割埋在300um深的异物，然后通过显示器目视检查。切割区域和深度是可以根据切割对象选择合适的专业切割工具来自由控制的。
它不仅可以用于切割树脂，还可以切割玻璃、硅片、铁系金属、有色金属、和岩石等。 |
主要应用：
- 挖出埋在树脂中的异物，制成薄片
- 掩埋异物，平面切割
- 树脂表面薄膜的微米级阶段切割
- 宽范围的等深平面切割
- 标记玻璃、硅片、金属试样
- IC封装和密封液晶面板的精确切割
- 接触内部缺陷
规格：
控制器 |
85(W)×290(D)×140(H)mm, 3kg |
铣削 |
φ28×140(L)mm, 0.2kg |
电源 |
AC100～230V 50/60Hz |
额定消耗功率 |
25VA |
产品：
Milling Pro
Milling Pro |
MIL-1 |
For manipulator made of our company |
MIL-3 |
For manipulator made of the other companies |
Special tools
Micro Peelers |
MPE-1M |
Flat flea, tip size 50μm |
Micro Peelers |
MPE-2M |
Flat flea, tip size 100μm |
Hard Tool Probes |
CP-M |
Needle, tip diameter 10μm |
Tungsten Probes |
TP-M |
Needle, tip diameter 0.5μm |
Tungsten Probes |
MILT-SET |
Four above-mentioned kinds of tools were combined |
3）. Microtweezers （MTW-1）
显微镜下的微型镊子
它是一个收集微小物体的微型工具（20um或以上）。它非常适用于将异物粘合到粘合剂夹或者对纤维对象进行拉扯。通过将其安装到Axis Pro或Quick Pro的机械臂使用，由于专用的精密镊子很容易拆卸，所以清理工作也十分简单。
应用：
| 接近异物 |
异物被拉开 |
接近目标杂质后，打开开关 |
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很容易更换镊子 |
产品：
Microtweezers (include two tweezers) |
MTW-1 |
Holding collection of foreign substance |
Precision Tweezers (P5SF-2515)
可选工具，可以用于显微镜下的精密镊子。
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精密镊子由SUS制成，尖端尺寸大约25*15um。普通的镊子是不能做显微镜下的精密操作的，而精密镊子可以在显微镜下进行操作。此外，用手操作，它还更容易传递对形状的感觉，而且操作也很方便。 |
应用：
- 备用的微型镊子
- 显微镜下微小异物收集
- 持箔样品在立体显微镜下
- 超细导线的处理
- 立体显微镜下的精确工作
产品：
Precision tweezers, tip size about 25 x 15 μm |
P5SF-2515 |
use for the fine processing under the microscope. |
4）. Vacuum Adsorption Tool Set （VP-SET-2）
这是真空镊子系统配备的吸入和排出（内置排出压力调节装置）功能。真空吸附可以拾取10um尺寸的微小物质，还可以通过配备的一个内径5um的吸附管释放物质。按钮设置在手柄上，这是一个方便的小设计。此外，排出压力的调整可以通过一个旋钮调整优化。如果一个喷嘴需要替换，则可以用备用的真空镊子。由于喷嘴也有多种产品，详情可询问我们。
应用：
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大约10um的异物可以被吸附 |
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开关打开时是抽吸，按下按钮后吹 |
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喷嘴需要替换，可以用真空镊子 |
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附针的吸管架 |
产品：
Vacuum Adsorption Tool Set |
VP-SET-2 |
a pump, a pipette handle, a adsorption / discharge handle, and micropipettes(10μm) |
Micro Pipettes玻璃工具
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通过内径5um真空吸附管和真空吸附工具组做异物采样 |
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通过内径10um的真空吸附管和微量进样器吸取和释放液体 |
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通过内径10um的真空吸附管和微量进样器吸取和释放液体 |
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吸取粉碎异物，用微型压力机使其光滑（10um压到2um厚度） |
它们是玻璃“微吸管”、“微采样工具”和“微压工具”。吸液管（5um、10um、20um）可以用来吸附和移动样品，还可以作为微量注射器用来吸附或滴落溶剂。如果采用真空吸附工具组，不用担心球型或纤维型这种很难拾取的异物或者活泼的物质的损失。尖端内径2um的微量采样工具用于进行FIB加工，通过采用两个微量移液器（尖端内径5um），利用两个微机械手臂进行双手操作，可以显著的提高效率。“微压工具”是一个划时代的产物，它可以瞄准并压缩样品，现在我们可以通过Axis Pro使用这个工具将样品压成可以分析的厚度。
应用：
- 真空吸附和释放微型异物（大约5um以上）
- 液体定量吸取和微量滴落
- FIB薄片加工（TEM）
- 微型样品提取
- 薄片样品提取（大约1-50um）
产品型号：
Micro Pipettes (variation)
Tip inside diameter 5μm (10pcs) |
MP-005 |
Capillary |
Tip inside diameter 10μm (10pcs) |
MP-010 |
Capillary |
Tip inside diameter 20μm (10pcs) |
MP-020 |
Capillary |
Tip inside diameter 5μm, 90-degree crank (10pcs) |
MP-005-90 |
For FIB Lift-Out |
MP-005/-010/-020 each 1pc |
MP-SET |
Micro Pipettes Set |
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Micro Sampling Tools
Tip inside diameter 2μm (10pcs) |
MST-002 |
For FIB Lift-Out |
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Micro Press Tools
A Tip is special processing (3pcs) |
MPT |
For samples press |
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Micro Pipettes Handles
For vacuum pickup, handel shank φ4mm |
MPH |
For manipulators |
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5）. Microinjector （MI-B）
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可以吸取和滴落皮升量级的液体。可以用于样品表面或小孔中的微量液体取样。它可以预先填充任意的溶剂，进行精确的点滴。可以用来点滴溶解基材的溶剂来提取埋藏的异物，还可以进行点样浓度的提取。 |
应用：
产品：
Microinjector |
MI-B |
The amount of fluid migration 40μl / rotarion |
