6.微型工具
1） Tungsten Probes
纸表面切割取样 |
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玻璃薄膜剥落取样 |
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在分析盘上精密标记 |
打印机的调色剂颗粒取样 |
钨探针有很多的用途，例如切割、磨、铣等。你可以根据提取样品的不同，选择尖端直径从0.5um到30um的探针。10um到30um的探针具有非常好的柔韧性，非常方便使用。由Axis Pro使用新研发的尖端直径0.5um或0.2um的钨探针，将可以实现亚微观的小目标和薄膜采样。
应用：
- 树脂中埋藏的异物搜索（大约5um）
- 采样异物转移薄膜（1um以上）
- 附着在玻璃表面的异物采样
- 金属切点异物采样
- 特定部位的表面情况检查
- 微小目标的侧面采样（1-5um）
- 小孔采样（1-5um）
- 树脂和分析盘标记
产品：
Tungsten Probes (variation)
Tip diameter 0.2μm (10 pcs) |
TP-0002 |
Use on 2μm or less foreign substance |
Tip diameter 0.5μm (25 pcs) |
TP-0005 |
Use on 5μm or less foreign substance |
Tip diameter 1μm (25 pcs) |
TP-001 |
Use on not less than 5μm foreign substance |
Tip diameter 5μm (25 pcs) |
TP-005 |
Can use for manual manipulation |
Tip diameter 10μm (25 pieces) |
TP-010 |
Can use for manual manipulation |
Tip diameter 30μm (25 pcs) |
TP-030 |
Can use for manual manipulation |
0.5,1,10,30μm, each 3pcs |
TP-SET |
Tungsten Probes Set |
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Metal Probes Handle
Pin-vice type, Handle shank φ4mm |
TPH-10 |
For manipulators |
Pin-vice type, Handle shank φ5mm |
TPH-15 |
For manipulators |
For manual manipulation |
TPH-3 |
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2) Hard-Metal Tools
糖衣药片表面的粘连物提取 |
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50um宽聚酰亚胺的平面切割 |
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漆包线切除 |
树脂内埋藏异物的平面切割 |
它是由坚硬的金属构成，有着广泛的用途，如：切割、戳、推、搓、剪等。探针可以实现硬质材料的小面积加工，如：金属、硅晶片、玻璃，还以用在FIB加工前的目标标记。由于尖端的不同样式，微型工具可以用于很多材料，如：高分子材料表面的平面切割，高阻隔薄膜切割，消除微小突起，精确切除IC接合线和配线。“刀口”的设计在异物提取中非常重要，例如对硬塑料、有色金属等的异物提取。
应用：
- 树脂中的异物切割（大约5um）
- 特定部位的表面情况检查
- 显微镜ATR测量中不方便测量部分的切除
- FIB加工的目标标记
- 标记，如金属、硅晶片、玻璃等（2um或以下）
- 电子装置表面下的异物清除和修复（大约5um）
- 柔性衬底中的混合物分离
- 观察并消除微小突起（大约10-100um）
产品：
Hard-Metal Tools (variation)
Probes, tip diameter 5μm (5pcs) |
CP-005 |
Marking of a hard sample, etc. |
Micro Peelers (3pcs) |
MPE-1 |
To cutting, such as resin and glass |
Micro Peelers-Medium (3pcs) |
MPE-2 |
To cutting, such as resin and glass |
Micro Peelers-Large (3pcs) |
MPE-4 |
To wide range cutting, such as resin and glass (can use for manual manipulation) |
Micro Peelers Set, MPE-1/2/4, each 1pc (3pcs) |
MPE-SET |
To wide range cutting, such as resin and glass (can use for manual manipulation) |
Knife Edges (3pcs) |
KE-1 |
To pinpoint cutting of resin etc. |
Knife Edges S (3pcs) |
KE-2 |
To pinpoint cutting of resin etc. |
Hard Tools Set (3pcs) |
HT-SET |
Probes(CP-005),
Knife Edges(KE-1),
Micro Peelers(MPE-1)
each 1pcs |
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Metal Probes Handle
Pin-vice type, Handle shank φ4mm |
TPH-10 |
For manipulators |
Pin-vice type, Handle shank φ5mm |
TPH-15 |
For manipulators |
For manual manipulation |
TPH-3 |
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3) Micro Knives
这是一个非常精密的不锈钢刀具。因为具有适当的弯曲设置，所以使用起来非常的方便。
产品：
Micro Knives (variation)
Made by SUS, Sngle edged 30 degrees (5pcs) |
MK-S15 |
Precision knives |
Made by SUS, Single edged 30 degrees (5pcs) |
MK-S30 |
Precision knives |
made by SUS, double edged (5pcs) |
MK-D |
Precision knives |
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Handles
For SUS knives, handle shank φ4mm |
MKH |
use for manipulators |
For SUS knives, handle shank φ5mm |
MKH-05 |
use for manipulators |
For manual manipulation |
MKH-2 |
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Ruby Knives
这是由红宝石制成的极其精密的刀具。由于它很难产生阴影，所有它在精细切割上应用非常多，并使得可加工性有了很大的提升。（这段文字，请放到上面 图片的右侧）
产品：
Ruby Knives (variation)
Made from Ruby, Single Edge, 15 degrees (1 pc) |
RK-S15 |
Sharpness serious consideration |
Made from Ruby, Flat Edge (1 pc) |
RK-50SC |
Thin piece cutting |
Made from Ruby, Double Edge (1 pc) |
RK-D |
Pinpoint cutting |
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Ruby Knives Handles
For Ruby Knives, Handle shank φ4mm |
TPH-20 |
For manipulator |
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4）. Glass Tools
通过内径5um真空吸附管和真空吸附工具组做异物采样 |
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通过内径10um的真空吸附管和微量进样器吸取和释放液体 |
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通过内径10um的真空吸附管和微量进样器吸取和释放液体 |
吸取粉碎异物，用微型压力机使其光滑（10um压到2um厚度） |
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它们是玻璃“微吸管”、“微采样工具”和“微压工具”。吸液管（5um、10um、20um）可以用来吸附和移动样品，还可以作为微量注射器用来吸附或滴落溶剂。如果采用真空吸附工具组，不用担心球型或纤维型这种很难拾取的异物或者活泼的物质的损失。尖端内径2um的微量采样工具用于进行FIB加工，通过采用两个微量移液器（尖端内径5um），利用两个微机械手臂进行双手操作，可以显著的提高效率。“微压工具”是一个划时代的产物，它可以瞄准并压缩样品，现在我们可以通过Axis Pro使用这个工具将样品压成可以分析的厚度。
应用：
- 真空吸附和释放微型异物（大约5um以上）
- 液体定量吸取和微量滴落
- FIB薄片加工（TEM）
- 微型样品提取
- 薄片样品提取（大约1-50um）
产品：
Micro Pipettes (variation)
Tip inside diameter 5μm (10pcs) |
MP-005 |
Capillary |
Tip inside diameter 10μm (10pcs) |
MP-010 |
Capillary |
Tip inside diameter 20μm (10pcs) |
MP-020 |
Capillary |
Tip inside diameter 5μm, 90-degree crank (10pcs) |
MP-005-90 |
For FIB Lift-Out |
MP-005/-010/-020 each 1pc |
MP-SET |
Micro Pipettes Set |
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Micro Sampling Tools
Tip inside diameter 2μm (10pcs) |
MST-002 |
For FIB Lift-Out |
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Micro Press Tools
A Tip is special processing (3pcs) |
MPT |
For samples press |
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Micro Pipettes Handles
For vacuum pickup, handel shank φ4mm |
MPH |
For manipulators |
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5).Other Tools
Flex Probes
这是一个尖端直径5um或更小的树脂探针，由于它是一个具有柔韧性的工具，所以它可以在小孔周围和液晶单元的角部提取样品。此外，它还可以用于从切片机上拾取样品切片，收集粘附在表面的小液滴，提取不能用针尖的样品。
产品：
Flex Probes
Tip diameter 5μm (5 pieces) |
FP-1 |
micro hole, crystal, and liquid |
