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Gold Diffraction Gratings PGL金光栅的卓越性能来自我们专有的镀金膜层工艺,可生成保形镀层,从而提高衍射效率。 我们已经强调了这一过程,因为我们已经认识到玻璃镀金对于良好的光栅性能至关重要。 镀膜在非常大的基底区域上也是高度均匀的。 这些光栅的高效率,宽反射带宽,极低的整体衍射波前误差和良好的激光损伤阈值,使其成为当今最苛刻的短脉冲压缩系统的最佳选择。 主要特点:
主要优点:
典型应用:
产品详情: PGL开发的用于金镀层的工艺在精确特征上提供了保形的层状镀层。 蚀刻后的熔融石英比金光刻胶光栅提供更好的性能特性和均匀性。 金玻璃光栅的散射较低,并且它们在脉冲展宽器中表现出比基于抗蚀剂的光栅更好的时间对比度[1]。 这些光栅也不如标准金属镀膜光刻胶光栅精细。 例如,它们不会溶解在丙酮中。 一些研究表明,蚀刻二氧化硅光栅中的飞秒激光损伤阈值高于光刻胶光栅。 此外,PGL发现激光损伤通常不会延伸到下面的二氧化硅中[2]。 可以从蚀刻的熔融石英中剥离金,对光栅几乎没有损坏。 该特性有助于制造并且还能够进行再制造。 如果金在使用过程中受到损坏(通过污染或激光损坏),只要损坏没有延伸到二氧化硅结构中,光栅就可以运送到PGL进行剥离和重镀。 很明显,即使对于高度保形的镀膜层,光栅深度和占空比也会受到影响,因此必须非常小心地控制。 图1和2显示了在镀膜金之前(1)和之后(2)之前蚀刻的熔融石英光栅的SEM图像。 |