|
Two-dimensional (2D) Diffraction Gratings 二维光栅非常适合定位和计量应用，这些应用要求在很长的范围内（〜毫米或更长）具有极高的精度（〜纳米或更小）。 这些要求可以在半导体，精密制造和生物成像领域中找到，在此仅举几例。 通常，位移测量干涉仪（DMI）可以提供解决方案，但也可能造成昂贵甚至不切实际的系统限制。 基于光栅的干涉仪提供更简单，更强大的解决方案。 通过正交覆盖两个一维（1D）结构产生2D光栅。 结果是矩形阵列的光栅特征，其净衍射效率等于两个1D效率的乘积。 凭借对光栅特征贴装精度的出色控制，PGL的2D光栅为最苛刻的定位应用提供了业界领先的解决方案。 
主要特点：
主要优点：
典型应用：
产品详情： PGL 2D光栅的高精度始于Nanoruler，基于MIT开发的专有SBIL（扫描光束干涉光刻）技术。 Nanoruler包括一个精密空气轴承XY平台，双轴DMI安装在主动隔振系统上，安装在环境外壳内，控制温度为±0.01°C。 它扫描一小部分条纹，这些条纹通过外差相位参考干涉测量法在任何方向上跨越大基板进行主动稳定，并且条纹频率和方向的实时变化。 
平均方法和出色的剂量控制确保整个光栅的周期和特征形状一致，并且从零件到零件的周期重复性已显示超过10 ppb！ 全息光栅写入系统中发现的系统缺陷几乎都被消除了。 SBIL甚至允许对基板中的波前误差和其他系统级缺陷进行可编程校正。 这些特性加上对基板尺寸无限制，意味着PGL的SBIL工艺是大型2D光栅的理想解决方案。 
|
